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IMEC展示集成钨埋电源线的FinFET器件
Imec Demonstrates FinFET Devices with Integrated Tungsten Buried Power Rails(www.imec-int.com)
2020-6-18 2:36
鲁汶(比利时)，2020年6月15日-本周，在2020年VLSI技术和电路研讨会上，世界领先的纳米电子和数字技术研究与创新中心IMEC在FinFET CMOS测试车中提出了一种钨(W)埋电源轨(BPR)集成方案，该方案不会对CMOS器件特性产生不利影响。当BPR通过Ru通过触点与Ru M0A线对接时，测量到了优异的电......