芯片规模蓝光相控阵

许多新兴的应用需要在可见光谱范围内进行紧凑的光束控制，例如增强和虚拟现实显示、用于量子信息处理的光学陷阱、生物传感和刺激。光学相控阵(OPA)可以整形和控制光，使这些应用在紧凑的芯片上不需要移动部件。然而，由于较短波长带来的制造和材料挑战，OPA演示主要局限于近红外光谱范围。在这里，我们展示了第一个芯片规模的相控阵，工作在蓝色波长(488 Nm)，使用的是高限制氮化硅平台。我们使用稀疏的非周期发射极布局来缓解在该短波长下的制造限制，并在50°视场内实现全宽、半最大光束尺寸为0.17°的广角光束转向。该平台的大规模集成为在整个可见光范围内实现完全可重构的芯片级三维体积光投影铺平了道路。